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特氣管路加熱主要用于半導體制造中的氣體輸送系統(tǒng),通過加熱管道或容器保持氣體穩(wěn)定流動,避免凝聚或反應活性變化。以下是主要原理和應用:
通過電流通過電阻絲產生焦耳熱,直接對管道或容器加熱。常用于硅烷等特氣的輸送,防止低溫下氣體凝聚或活性變化。
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